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【新聞】綠色製造重要里程碑!台積電有害化學品減量95%

新聞日期:2022-10-31

新聞來源:自由時報


今年10月成功完成機台修改及替代製程驗證,達成於永續報告書設立「NMP使用量減少95%」的年度目標。(台積電提供)

〔記者洪友芳/新竹報導〕台積電營運資深副總經理秦永沛指出,使用無毒又環保的綠色原物料是台積電有害物質管理的目標,在同仁努力下,終於克服困難,達成危害性化學品N-甲基吡咯烷酮(N-Methyl-2-Pyrrolidone, NMP)減量95%,這是台積電推動綠色製造的重要里程碑,期能完成100%替代,將原物料的健康與環境風險降至最低。


台積電秉持對有害物質管理的承諾,確保製程使用的化學品完全符合國際法規與客戶要求,2016年即領先國內業界針對危害性化學品N-甲基吡咯烷酮(NMP)啟動減量計畫,今年10月成功完成機台修改及替代製程驗證,達成於永續報告書設立「NMP使用量減少95%」的年度目標,約當年減7800公噸二氧化碳當量的碳足跡,持續提升綠色製造能力。


台積電表示,有害物質管理以QC 080000有害物質流程管理系統為標準,基於保護人體健康與降低環境衝擊,秉持能不用就不用、能少用就少用的原則,依規畫、執行、查核、行動的管理循環模式持續改善有害物質使用。


針對工業普遍使用的化學品NMP,台積電表示,主要將其做為製程中去光阻後清洗晶圓的溶劑,為降低人員暴露與環境汙染風險,公司超越法規要求,於2016年自主推動「去光阻濕式清洗製程NMP替代計畫」,7奈米(含)以下先進製程完全排除使用NMP,既有廠區則陸續進行替代作業,並訂定2030年台灣廠區達成100% NMP替代的目標。


藉由與客戶緊密合作,台積電各廠區工程部、製造部及濕蝕刻技術委員會除針對製程進行替代性材料評估外,因替換過程也須改變設備硬體與製程參數,在不影響產品良率的前提下,歷經多次配方調整、反覆測試,以達製程最適化,透過跨廠區合作於今10月完成去光阻濕式清洗製程機台修改,同時建立機台維修保養機制,確保後續生產品質無虞。


台積電表示,全方位的有害物質管理是台積電提升品質能力的重要一環,公司將進一步推動海外廠區執行NMP減量計畫,同時針對少量含NMP的光阻液進行替代可行性評估,以期達成100%不使用NMP的長期目標,保護員工與產業供應鏈安全,促進環境永續。


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